激光干涉儀是一種以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長度進(jìn)行測(cè)量的儀器。其主要在：線形、角度、垂直度、直線度、平面度等方面上應(yīng)用。隨著激光干涉儀測(cè)量技術(shù)的不斷提高，測(cè)量軟件的不斷開發(fā)其測(cè)量范圍越來越廣泛，特別是在測(cè)量數(shù)控機(jī)床位置精度方面用途廣泛。
激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測(cè)量光束）則通過分光鏡射入第二個(gè)反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會(huì)有一個(gè)探測(cè)器監(jiān)控兩道光束之間的干涉。
1. 精度高 激光干涉儀以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長度進(jìn)行度量的儀器。即使不做細(xì)分也可達(dá)到μm 量級(jí)，細(xì)分后更可達(dá)到n m量級(jí)。(安捷倫5530激光干涉儀線性精度能達(dá)到0.4PPM)
2. 應(yīng)用范圍廣 激光干涉儀除了可用于長度的精密測(cè)量外，測(cè)量角度、直線度、平面度、振動(dòng)距離及速度等等，還可以分光進(jìn)行多路測(cè)量。
3. 環(huán)境適應(yīng)力強(qiáng) 即使光強(qiáng)衰減 90%，仍然可以得到有效的干涉信號(hào)。由于這一特點(diǎn)，雙頻激光干涉儀既可在恒溫、恒濕、防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊、量桿、刻尺、微分校準(zhǔn)器和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，也可以在普通的車間內(nèi)為大型的機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。
更新時(shí)間：2020-12-29 
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