美國(guó) API XD Laser 系列激光干涉儀是面向數(shù)控機(jī)床、多軸加工設(shè)備精度校準(zhǔn)的專業(yè)計(jì)量?jī)x器，依托光頻域干涉測(cè)量技術(shù)，可完成機(jī)床 21 項(xiàng)幾何誤差參數(shù)檢測(cè)，是精密制造領(lǐng)域設(shè)備精度溯源與誤差補(bǔ)償?shù)暮诵墓ぞ?，廣泛應(yīng)用于加工、精密模具、科研計(jì)量等行業(yè)。

XD Laser 激光干涉儀最大的應(yīng)用特點(diǎn)是六自由度同步測(cè)量能力，6D 版本一次安裝調(diào)試，即可同步采集直線位移 X/Y/Z、俯仰角、偏擺角、滾動(dòng)角共六項(xiàng)誤差參數(shù)，無(wú)需反復(fù)拆裝、更換反射鏡組，相比傳統(tǒng)單參數(shù)干涉儀，測(cè)量效率提升 5 倍，機(jī)床停機(jī)時(shí)間最高可減少 80%，大幅降低產(chǎn)線校準(zhǔn)帶來(lái)的生產(chǎn)損失。儀器采用高度集成緊湊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，主機(jī)自帶磁性快速安裝底座，無(wú)需額外三腳架，可直接吸附固定在機(jī)床工作臺(tái)、導(dǎo)軌面，現(xiàn)場(chǎng)調(diào)光簡(jiǎn)單，適配各類立式、臥式加工中心、龍門(mén)機(jī)床、磨床與轉(zhuǎn)臺(tái)設(shè)備，狹小機(jī)床內(nèi)部空間也可順利布設(shè)測(cè)量光路。

儀器具備的多維度誤差檢測(cè)能力。1D 型號(hào)可完成直線軸定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙、移動(dòng)速度與加速度測(cè)量；3D 型號(hào)增加直線度檢測(cè)，搭配附件可測(cè)量軸系垂直度；5D 型號(hào)可檢測(cè)偏擺與俯仰角；6D 型號(hào)覆蓋全部六維參數(shù)，搭配轉(zhuǎn)臺(tái)附件還可完成旋轉(zhuǎn)軸分度精度、主軸動(dòng)態(tài)誤差檢測(cè)。儀器搭載 ULS 超低速度測(cè)量功能，測(cè)量速度區(qū)間覆蓋 2μm/s 至 3m/s，位移測(cè)量與計(jì)時(shí)數(shù)據(jù)均可溯源至國(guó)際計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)，滿足醫(yī)療設(shè)備、精密泵閥等對(duì)低速進(jìn)給控制有嚴(yán)苛要求場(chǎng)景的計(jì)量校準(zhǔn)需求，測(cè)量數(shù)據(jù)具備可追溯性，可用于計(jì)量驗(yàn)收、設(shè)備出廠檢定與 ISO 標(biāo)準(zhǔn)校驗(yàn)報(bào)告輸出。

配套 VeriComp 專業(yè)校準(zhǔn)軟件操作直觀，可自動(dòng)采集、統(tǒng)計(jì)誤差數(shù)據(jù)，生成標(biāo)準(zhǔn)化檢測(cè)報(bào)告，支持空間誤差補(bǔ)償計(jì)算。完成誤差測(cè)量后，可基于測(cè)量數(shù)據(jù)對(duì)機(jī)床數(shù)控系統(tǒng)實(shí)施參數(shù)補(bǔ)償，實(shí)測(cè)可將機(jī)床整體精度提升 4 倍左右。在實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景中，該干涉儀常用于新機(jī)床出廠精度驗(yàn)收、設(shè)備大修后精度復(fù)校、長(zhǎng)期服役機(jī)床定期精度保養(yǎng)、多軸機(jī)床體對(duì)角線精度檢測(cè)，同時(shí)也可用于機(jī)器人直線運(yùn)動(dòng)單元、精密傳動(dòng)平臺(tái)的幾何誤差標(biāo)定。

在環(huán)境適應(yīng)性方面，儀器光學(xué)系統(tǒng)抗現(xiàn)場(chǎng)粉塵、溫度波動(dòng)干擾能力強(qiáng)，可直接在生產(chǎn)車(chē)間現(xiàn)場(chǎng)開(kāi)展校準(zhǔn)，不必將大型機(jī)床轉(zhuǎn)運(yùn)至恒溫計(jì)量室。