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更新時間:2025-09-01
瀏覽次數(shù):488CCI HD 非接觸式光學 3D 輪廓儀
測量性能上,CCI HD 針對不同厚度涂層展現(xiàn)出優(yōu)異的適應性:
厚膜測量:可精準分析厚度達約 1.5 微米的半透明涂料,廣泛應用于相關材料的研發(fā)與生產(chǎn)檢測。需注意的是,實際測量的厚度上限會受材料折射率及標的物數(shù)值孔徑(NA)影響,需根據(jù)具體檢測對象進行參數(shù)適配。
薄膜測量:突破了薄涂層測量的技術難點,借助的干涉測量法,能夠?qū)穸鹊椭?50 納米的薄膜涂層進行穩(wěn)定測量(測量下限同樣與材料折射率相關)。更值得關注的是,通過這一新型測量方法,可在單次測量流程中同步獲取膜厚、界面粗糙度、針孔缺陷及薄涂層表面剝離等關鍵特性參數(shù),大幅提升檢測效率與數(shù)據(jù)完整性,為薄膜材料的質(zhì)量控制與性能研究提供全面數(shù)據(jù)支撐。
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